第五代飛納電鏡能譜一體機PhenomProX是集成化成像分析系統，分辨率提升20%，進一步增加應用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品

研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常重要的。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。

能譜儀是一種基于樣品被電子束激發而產生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是集成設計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統中。

Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據。