特點核心理念采用優異的成像技術SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號
隨著用戶對樣品數據的需求更加多元化，對檢測系統在短時間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學以及發光等信息。真正實現了更快速、更全面的信息收集。
樣品：包裹有機物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應用實例 （加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現了獲取信息的。
使用單屏時，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。
1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實現實時監控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升。
樣品倉外觀
標配18個附件接口
馬達臺外觀
XY軸可移動距離為135×100 mm
樣品倉可搭載直徑為φ 200 mm；80 mm的樣品。大開倉設計，標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸移動距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺不成問題。
通過相機拍攝樣品
將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進行導航
SU7000可選配導航相機(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內，插入樣品后，可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。適用尺寸為φ 100 mm。
(*)可選配相機。SU7000可用于環境改變的動態觀察。低真空觀察時，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器(**)。
低真空環境的探測器選擇
左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現出氧化物的分散狀態和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應速度提高
左圖是以一般的響應速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質得到了大幅提升。隨著響應速度的提高，更適用于In-Situ觀察。
(**)可選配PD-BSED、UVD。
規格
項目 內容 圖像分辨率 二次電子分辨率 0.8 nm/15 kV 0.9 nm/1 kV 放大倍率 20～2,000,000 x 電子槍 發射體 ZrO/W熱場發射（肖特基熱場發射） 加速電壓 0.1～30 kV （步進：0.01 kV） 束流 200 nA 探測器 標準探測器 UD （上探測器) MD （中探測器） LD （下探測器) 選配探測器*1 PD-BSED (半導體式背散射電子探測器） UVD（高靈敏度低真空探測器 ） 低真空模式*1 樣品倉壓力范圍 5～300 Pa 可使用探測器 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD 馬達臺 馬達臺控制 5軸馬達驅動 移動范圍 X 0～135 mm Y 0～100 mm Z（WD） 1.5～40 mm T（傾斜角） -5～70° R（旋轉角） 360° 樣品尺寸 直徑：φ200 mm, 高度：80 mm 顯示器*1 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 圖像顯示模式 全屏顯示模式 1,280×960像素顯示 單屏顯示模式 800×600像素顯示 雙屏顯示模式 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 四屏顯示模式 640×480像素顯示 六屏顯示模式*2 640×480像素顯示 *2 圖像數據保存 保存圖像尺寸 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 選配附件 能譜儀（EDX） X射線波譜儀（WDX） 電子背散射衍射（EBSD） 陰極熒光探測器（CL) 冷凍傳輸系統 各種功能樣品臺
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