智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，精確表征和分析的工具。

多功能性設計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。

智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，精確表征和分析的工具。

多功能性設計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。

技術參數：

光譜范圍：450-1000nm

多種微光斑自動選擇

*光斑可視技術，可觀測任何樣品表面

CCD探測器

自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

自動調節; Z軸高度>35mm

主要特點：

· 一鍵式操作，直接報告輸出

·液晶調制技術，測量光路中無運動部件

· CCD 探測系統，快速全譜輸出

· 多個微光斑尺寸選擇，*可視技術

· 多角度測量

· 可實現在線測量配置