主要應用:半導體生產過程中的溫度測量如:RTA、RTP、CVD等工藝。
RTP紅外測溫儀特點
兩種光學采集系統可供選擇: 光導型、透鏡型
光導型的優點:直徑小,僅通過很小的通光孔徑,能夠從大視場角度收集輻射能量,采集到極限低溫信號。
透鏡型:適合遠距離測量小目標或透過觀察窗測量目標溫度。
短波長實現低溫目標溫度測量
嚴謹科學的設計、可實現10 -13 A的信號的放大;實現短波長測量低溫目標的能力;短波長顯著降低發射率造成的測量誤差,是許多應用的理想選擇,如半導體工業中硅片的溫度測量。
溫度分辨可達0.01℃
嚴謹的電路設計使得電噪聲更小,可實現低溫目標的準確測量。高溫度分辨力使得溫度控制過程更加平穩。
測量速度高達1Khz(1ms)
該系列測溫儀可以提供每分鐘一個讀數直至每秒1000個讀數,客戶可按需選擇。此外,測溫儀執行所有內部的A/D轉換,每臺儀器提供一個數字信號輸出。
寬范圍的溫度測量能力
高精的電子元器件及光路設計使得測溫儀測溫范圍更寬,可以實現從室溫(25℃)到4000℃ 的高溫測量。
低漂移
的元器件選擇和設計有效減少電子器件中的漂移,測溫儀實現溫漂不高于 0.1 ºC / 年。
精巧易安裝,不再依賴光纖
小尺寸、高性能使得測溫儀能夠在離熱源足 夠近的地方測溫,且不再需要長柔性光纖元件。在需要光纖的應用中, 迪凱的產品仍然具有顯著優勢,可提供全系列柔性石英光纖,以滿足不同使用現場需求。
基本參數
測量溫度范圍 100-1300℃
測量精度:±1.5℃/0.15%讀數
重復精度:±0.10℃
分辨率: 0.01℃
響應時間:1ms
通光孔徑: 2mm(其它可選)
電氣參數
數字輸出:RS422
模擬輸出:無
操作參數及執行標準
防護等級:IP65
工作溫度:10-60℃
存儲溫度:-20-70℃
相對濕度:10-95%,無結露
抗擾標準:JB/T9233.11-1999
抗沖擊: GB/T2423.1,GB/T2423.2
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