主要技術參數：
| 儀器型號 | iMS-2010F | iMS-2515F | iMS-3020F | iMS-4030F | iMS-5030F |
| 儀器貨號# | 521-140F | 521-150F | 521-160F | 521-170F | 521-180F |
| 金屬工作臺 | 408x308mm | 408x308mm | 458x358mm | 608x470mm | 708x470mm |
| 玻璃工作臺 | 306x198mm | 306x198mm | 356x248mm | 456x348mm | 556x348mm |
| X/Y軸行程 | 200x100mm | 250x150mm | 300x200mm | 400x300mm | 500x300mm |
| Z軸 | 高精度直線導軌和伺服電機控制系統，有效行程200mm | ||||
| X/Y/Z軸分辨率 | 0.0005mm | ||||
| X/Y軸精度 | ≤3+L/200(um) | ||||
| 重復精度 | 2um | ||||
| 底座和立柱 | 高精度濟南青花崗巖 | ||||
| 照明系統（軟件調控） | 表面4環8區無級可調LED冷光源，每區可獨立調控 | ||||
| 透射LED平行（面）光源 | |||||
| LED鐳射導航指示燈 | |||||
| CCD | 高分辨率700TVL彩色CCD | ||||
| 變焦物鏡 | 6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡 | ||||
| 光學放大倍率：0.7X~4.5X倍；視頻放大倍率：26X~172X | |||||
| 工作環境 | 溫度：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr | ||||
| 濕度：30% ~80%RH | |||||
| 震動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 測量軟件 | iMeasuring 2.2 | ||||
| 操作系統 | 支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系統 | ||||
| 操作語言 | 英文、簡體中文、繁體中文，可增加其他語言版本 | ||||
| 外形尺寸(WxDxH) | 790x617x1000mm | 790x617x1000mm | 838x667x1000mm | 1002x817x1043mm | 1002x867x1043mm |
| 凈重 | 175Kg | 175Kg | 185Kg | 350Kg | 380Kg |
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