工作過程中，清洗工作腔與外界密封隔離。

工作腔、旋轉支架及載片架均采用耐腐蝕不銹鋼，表面經特殊嚴電化學處理；

旋轉機構經精密的動、靜平衡校驗，保證系統工作時的平衡性、減少振源的產生。

精密的動、靜平衡保證使得放硅片盒夾具與甩干機的位置無需一一對應，操作方便。

采用寬頻率的特種阻尼器，精密減震及阻尼。使系統具有良好的減震效果。

采用驅動電機，進口變頻器，提速平穩；采用磁力平衡制動，速度快，制動平均時間小于20秒。

特制噴頭和氣液流體控制系統，全自動切換控制。

管道、閥門、接頭采用304不銹鋼、聚四氟材料和高純管件。

采用氣缸實現自動開門手動關門，平穩安全可靠。

工作中采用防靜電控制。

頂蓋采用硅橡膠加熱板輔助加熱系統，保證頂蓋烘干后干燥不滴水。

程序設計可靠。速度調節，溫度調節，時間調節等每道程序指令用戶都可以在觸摸屏上任意設定、修改、保存。

運行過程、內容、信息（包括故障信息）在工作過程中均在觸摸顯示屏漢顯，操作人員對設備的工藝步驟、運行狀態一目了然。

采用電子變頻調速技術無級調速，速度提升變換穩定。

系統軟件具有故障實時顯示及報警功能。

所有電控元器件均采用國際國內品牌。

采用微處理器檢測實時工作狀態。具有關門故障報警、超溫報警、驅動電機過載報警、低油位報警、制動故障報警、多種傳感器故障報警等；

具有整機漏電保護裝置和接地端子。