7111A是一款全橋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的壓阻式MEMS，敏感元件是精密加工的MEMS芯片，利用一整塊單晶硅通過(guò)刻蝕成型技術(shù)加工而成，包含慣性質(zhì)量塊和應(yīng)變計(jì)，應(yīng)變計(jì)組成一個(gè)可變四臂惠斯通電橋，并且硅片內(nèi)有特殊的零點(diǎn)平衡電路

7111A是一款全橋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的壓阻式MEMS，敏感元件是精密加工的MEMS芯片，利用一整塊單晶硅通過(guò)刻蝕成型技術(shù)加工而成，包含慣性質(zhì)量塊和應(yīng)變計(jì)，應(yīng)變計(jì)組成一個(gè)可變四臂惠斯通電橋，并且硅片內(nèi)有特殊的零點(diǎn)平衡電路。

由于重量輕、尺寸極小和元件結(jié)構(gòu)，傳感器具有出色的共振頻率、低阻抗、高過(guò)載、零阻尼無(wú)相移的特性。傳感器的高共振頻率使其在包含高頻成分的沖擊脈沖中存活，而這些高頻成分對(duì)于具有更低共振頻率的加速度傳感器的慣性系統(tǒng)是破壞性的。

高共振頻率和零阻尼使得加速度傳感器可精確地響應(yīng)具有快速上升時(shí)間的短持續(xù)時(shí)間沖擊運(yùn)動(dòng)。同時(shí)頻率響應(yīng)低至直流或穩(wěn)態(tài)加速度，對(duì)于長(zhǎng)持續(xù)時(shí)間瞬態(tài)測(cè)量，該傳感器也是理想選擇。

主要產(chǎn)品特點(diǎn)：1.MEMS加速度計(jì)。2.零頻直流響應(yīng)輸出。3.沖擊量程200kg。4.密封結(jié)構(gòu)。5.mV輸出。6.鈦合金。7.雙螺釘安裝

主要應(yīng)用領(lǐng)域：沖擊試驗(yàn)

主要技術(shù)指標(biāo)：

1.量程（±g）：20k，100k，200k

2.靈敏度（μV/g）：5，1.5，0.5

3.頻率響應(yīng)（Hz，±1dB）：0-100,000

4.沖擊極限（±g）：200,000

5.工作溫度范圍（℃）：-50到120

6.重量（克）：2

7.尺寸（mm）：14×8×3.5

8.外殼材料：鈦合金

9.輸出接口：一體式線纜