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PC3涂層材料

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PC3涂層材料品牌：FuturrexC3涂層材料涂層材料PC3-700PC3-1500PC3-6000厚度0

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PC3涂層材料

品牌：Futurrex

C3涂層材料
涂層材料
PC3-700
PC3-1500
PC3-6000		 厚度
0.6µm - 1.6µm
1.1µm - 3.2µm
5.0µm - 12.2µm

  • 應用
    • 平坦化涂層
      • 作為電介質用于凹蝕制程的平坦化
    • 機械保護涂層材料
      • 在切割制程中用于關鍵部件的保護
    • 臨時的粘結層
      • 作為臨時的粘結材料用于后道的研磨及背面處理，且容易去除
  • 特性
    • 的平坦化性能
    • 適用于光刻膠涂布機
  • 對生產率的影響
      • 在一些方面省去了化學機械拋光
      • 抑制凹蝕制程中的微型加載效應
      • 消除了切割制程中薄膜的剝離和破裂
      • 晶圓研磨和切割后易于在RD3 和RD6顯影液中去除


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