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ZPT-X大型隔振光學平臺

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ZPT-X大型隔振光學平臺產品特點：■大型隔振光學平臺基礎根據用戶要求實驗面積較大的使用情況研制開發的產品，其保持了原氣浮隔振光學平臺的優點，在重載荷下具有抗系統干擾的能力

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ZPT-X大型隔振光學平臺

產品特點：
■大型隔振光學平臺基礎根據用戶要求實驗面積較大的使用情況研制開發的產品，其保持了原氣浮隔振光學平臺的優點，在重載荷下具有抗系統干擾的能力。
■氣動元器件均采用德國FESTO產品，標配進口無油壓縮機。
■該產品適用于對隔振要求較高，平臺工作臺面大，載荷要求高的環境。
技術指標：
■平面度：< 0.05mm/m2
■表面粗糙度：<0.8μm
■固有頻率：1.2Hz～2.0Hz
■減振效率：x方向＜5Hz時：86%～92% y方向＜5Hz時：84%～90%

x方向＜10Hz時：90%～96% y方向＜10Hz時：88%～93%

■振幅：< 1.2μm
■重復定位精度：±0.05mm
接受客戶任意規格定制生產


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