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MX4R晶元半導體檢測顯微鏡

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大行程移動工作平臺,長工作距半復消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測

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大行程移動工作平臺,長工作距半復消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測。

安全、穩重的機架結構設計
工業檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。


反射照明器
單顆大功率5W白色LED照明,帶斜照明機構。切換至斜照明時,可以使物體表面不同材質部分呈現立體圖案,增加觀察的對比度與視覺效果。


高性能物鏡轉換器
MX4R轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制,根據需求可配置不同孔位的轉換器。

技術規格:

型號

MX4R

MX4RT

可選擇的觀察方法

明場/斜照明/偏振光/DIC

明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光

光學系統

無限遠色差校正光學系統

目鏡

PL10X/22平場高眼點目鏡

觀察筒

30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或50:50

物鏡

LMPL無限遠長工作距金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X

轉換器

5孔內傾式轉換器,帶DIC插槽

載物臺

4”雙層機械移動平臺,行程105x 105mm,帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口

4”雙層機械移動平臺,行程105x 105mm,帶玻璃平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口

顯微鏡鏡體

粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出

粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出

反射照明器系統

帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素燈,光強連續可調(選擇此組照明器時,應使用MX-6R型顯微鏡鏡體)

透射照明系統

/

單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌


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