型 號:XC-12R光學系統:無限遠光學系統放大倍率:50X、100X、200X、500X觀察方式:透射/反射/明場功 能:連接電腦/拍照/錄像/測量/計數/圖像拼接/景深融合(需選配工業相機)選配觀察方式:暗場、熒光、偏光熒光等傳輸方式:雙目、三目
物鏡、孔徑光闌等采用電動切換模式,操作更加方便快捷配置 12 寸超大移動平臺,為晶圓、液晶面板檢測提供的工作環境。涵蓋明場、暗場、偏光、微分干涉等多種觀察方式,為您提供高效的檢測解決方案。
舒適靈活內的多角度觀察
■仰角可調觀察筒能夠使用戶無需因為身高的差異而經常調節座位,調節范圍在 0°至 35°,無論用戶的身高如何,以及想要坐立或者站立觀察都能找到的舒適位置,大大減輕了長時間工作帶來的疲勞感,提高檢測效率。
全新離合驅動式載物臺
■XC-12R 采用離合式手柄,用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺,無需長時間捏緊手柄,按下離合按鈕,取消快速移動。避免長時間操作出現手麻現象,并加快觀察速度。
防震支架設計
■機身由六端支架支撐,低重心、高穩定性全金屬機架,具備強效的防抖功能,確保像質穩定。
落射照明器
■電動孔徑光闌與物鏡連鎖,孔徑光闌自動調節,以適應不同倍率的數值孔徑,自動優化成像質量,操作更加方便快捷。
安全、高速的電動式物鏡轉換器
■只需輕按電動按鍵,即可快速實現物鏡切換,縮短檢查所需時間。
MX12R半導體FPD檢查顯微鏡主要參數:
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統 |
透反機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm,微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統 | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調節 ;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm |
帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動 ;玻璃載物臺板 ( 反射用) | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動,重復定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺 |
照明系統 | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件 |
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