產品功能：

清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發生化學反應從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。如：去除有機污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
如：PDMS鍵合，粘接前的預處理，涂裝前的預處理，印刷前的預處理。
 

具體應用：

• 去除油脂、油、氧化物、纖維
• 去除硅氧樹脂
• 綁定、焊接、粘結前的預處理
• 金屬部件涂裝前的預處理
• 鍵合
• 石墨烯、煤樣灰化
 

 

選配：

控制系統： PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE) / PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)。

 

氣體：

氣體流量控制器MFC腔體材質：石英腔體材質
 

腔體尺寸：

• 直徑105mm長度200mm，1.7L
• 直徑160mm，長度180mm，3.6L
 

托盤：

鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英
 

計時器：

數字/模擬
 

發生器：

13.56MHz，0-200W
 

其他：

......