用途
該系統(tǒng)是用于配制常溫下是氣態(tài)的多組份標(biāo)準(zhǔn)氣體,應(yīng)用廣泛,可用于傳感器多點(diǎn)校準(zhǔn)等研究。
系統(tǒng)構(gòu)成
本系統(tǒng)主要由以下部分組成:
兩組份動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)
計(jì)算機(jī)與操作軟件(也可以用LED觸摸屏,那就不需要配計(jì)算機(jī)和軟件部分)
系統(tǒng)各部分組成如下:
兩組份動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)
該系統(tǒng)運(yùn)用目前國際上的測量和控制技術(shù),設(shè)備穩(wěn)定可靠,配制精度高。全自動(dòng)化控制,操作簡單可靠。設(shè)備集成在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)。外觀簡潔,美觀。主要設(shè)備包括:質(zhì)量流量控制器,單向閥,截止閥,氣體混合管路等。由于存在甲烷,乙烷,乙烯,乙炔等易燃易爆危險(xiǎn)性介質(zhì)。配氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)氣路和電路控制部分分開安裝,同時(shí)在可能存在可燃性氣體泄漏的地方安裝風(fēng)扇,通過風(fēng)扇保證空氣流通,防止可燃?xì)饩奂１ＷC系統(tǒng)和人員的安全。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)為兩組份配氣方式,其中一路為稀釋氣,其他一路為源氣,氣源采用標(biāo)準(zhǔn)瓶氣。
該系統(tǒng)配置2個(gè)美國質(zhì)量流量控制器,可實(shí)現(xiàn)2個(gè)組份氣體混合配比。
系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達(dá)四五十種氣體,使用時(shí)通過計(jì)算機(jī)直接調(diào)取選擇。
混合氣體流量:≈ 2 L/min。
配氣通道:2路
主要設(shè)備清單
1.氣體質(zhì)量流量控制器(美國MFC)
1)N2 Range:0～2000mL/min
源氣 Range:0～500mL/min
2)精確度:±1%
3)密封:Viton(耐高溫氟素橡膠)
4)響應(yīng)時(shí)間:1…2seconds
5)重復(fù)性:< ±0.2% Rd
6)量程比:1:50(數(shù)字模式為:1:187.5)
7)泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar L/s He
8)電源:+15…24VDC@320mA
9)使用溫度:-10…70 ℃
10)壓力靈敏度:0,1% Rd/bar typicaL N2; 0,01% Rd/bar typicaL H2
11)溫度靈敏度:Zero:<0.05% Rd /℃; Span:<0.05%Rd/℃
12)輸出:4…20mA and RS-232
2.氣路
整個(gè)系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的內(nèi)表面拋光處理聚四氟乙烯管
3.轉(zhuǎn)子流量計(jì)
方便使用,配制出來多余的氣體可以通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計(jì)直接排出
4.計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件
1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏操作。
2)兩組份配氣軟件
配氣系統(tǒng)根據(jù)要求,可以設(shè)置鋼瓶和對應(yīng)的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動(dòng)計(jì)算,氣體質(zhì)量流量控制器自動(dòng)調(diào)節(jié)控制氣體流量,以實(shí)現(xiàn)氣體配比濃度要求。
