六自由度位移平臺可實現 X、Y、Z、α、β、Ψ運動維度調節，可帶動系統進行精密位置調整。該平臺設計使其比串聯運動系統更加緊湊、更具剛性，動態范圍更大，無移動電纜：更穩定、摩擦更小。

參數：

· 運 動 維 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ
· X、Y 行程：±8mm、±8mm
· Z 行程: ±9mm
· α、β行程：±3°
· Ψ 行程：±5°
· 推進設備分辨率：1μm
· X、Y 運動精度：5μm
· Z運動精度：3μm
· X、Y 重復運動精度：2μm
· Z 重復運動精度：2μm
· α、β運動精度：0.069mrad
· X、Y 移動速度：1mm/s
· Z移動速度：2mm/s
· 負載（水平）：100kg
· 質量：10.5kg
· 尺寸（直徑*高度）：390mm*310mm