JSM-7100F 熱場發射掃描電子顯微鏡

觀察與分析納米結構

納米結構的觀察

JSM-7100F 熱場發射掃描電子顯微鏡*的高強力電子光學系統能保證1.2nm 的超高分辨率，能很容易地進行納米結構的研究。

穩定的高精度分析

浸沒式熱場發射電子槍提供穩定的大探針電流，可以獲得高質量的觀察和分析結果。發射體保證3年。

磁性材料

JSM-7100F 熱場發射掃描電子顯微鏡的物鏡在樣品周圍不形成磁場，觀察和分析磁性樣品不受制約。

納米結構的分析

日本電子技術“光闌角度*調節透鏡” （Aperture Angle Optimizing Lens）提供很小的電子探針直徑，在短時間內用大探針電流可以獲得高精度的分析和高質量的元素面分布圖。
各種分析附件包括 EDS、WDS和EBSD 都可以安裝在理想的幾何位置上。

清潔的真空

樣品的交換通過樣品交換氣鎖室進行，樣品室總是保持著清潔的高真空狀態。*的單動作樣品交換機構，只要簡單的操作就能插入和退出樣品。
樣品室使用分子泵抽真空。

浸沒式熱場發射電子槍

日本電子技術-浸沒式熱場發射電子槍，效率高并且能提供高達200nA的探針電流。

光闌角度*調節透鏡

日本電子技術-光闌角度*調節透鏡，能自動優化物鏡光闌角度，在大探針電流時形成很小的探針直徑。

觀察

能獲取各種圖像：如二次電子像、背散射電子像和 STEM 像等。穩定的熱場發射電子源能確保獲得高質量的圖像。

分析

利用EDS 和 WDS的元素分析以及EBSD分析都能夠有效地進行，穩定的電子探針能夠獲得高精度的分析。