利用分光光譜反射儀來精確地測量光學或非光學薄膜厚度,可廣泛應用于半導體、醫療和工業生產中 !品牌:Ocean Optics型號:NanoCalc
Ocean Optics Inc 美國海洋光學是的微型光纖光譜儀制造商,其光譜儀應用于各行各業,涵蓋光電檢測、生物醫學、生命科學、環境檢測、材料、化學、膜厚測量、工業過程控制、照明和顯示等等領域。到目前為止,海洋光學在*已經賣出近十五萬套光譜儀,其光譜儀光譜范圍覆蓋153-2500nm。
NanoCalc 光學薄膜厚度測量系統
NanoCalc是一種用戶可配置的膜厚測量系統,它利用分光光譜反射儀來精確地測量光學或非光學薄膜厚度,可廣泛應用于半導體、醫療和工業生產中。
利用白光干涉測量法的原理,NanoCalc用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數據,由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化,NanoCalc根據這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中,不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述,從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。NanoCalc的膜厚測量范圍為1nm到1mm,只要待測材料有一定的透射或反射就能通過NanoCalc進行膜厚測量,這些材料包括氧化物、氮化物和保護膜層等,通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。
1nm以上的金屬膜厚也能測量,只要不是*不透光的。對于已知的系統,3層以內的多層膜厚測量可以在不到一秒鐘時間內完成。
通常擬合曲線和實際曲線由于干涉會引起一些差異,NanoCalc的算法充分考慮到了這一點,從而可以在比較粗糙的表面進行測量。
產品主要優勢和特點
UV/VIS/NIR高分辨率的配置
測量準確度在1nm,精度在0.1nm
可測量極限至10層薄膜
膜厚測量Min.可至1nm,Max.可至1mm
可測量Min.1nm厚的透明金屬層
提供試驗臺及附件用于復雜外形材料的測量
對表面缺陷和光滑度不敏感
龐大的材質數據庫,保證各種材料的精確測量
快 速: | 每次測量只需輕點一下鼠標,測量結果立即呈現在顯示屏上,不到一秒鐘。應用于在線模式下,可接受到采樣信號后,立即測量。 |
準 確: | 分辨率0.1nm,重復性0.3nm,準確度優于1%,并且還有數百種材料組成的龐大材料庫,幫助您準確分析您的薄膜。同時NanoCalc為光學測試系統,無任何運動部件,不會由于多次測量產生回程誤差等機械運動誤差,可長時間穩定工作。 |
無 損: | 光學無損檢測,無需像臺階儀、SEM等需破壞樣品進行測量。 |
靈 活: | 重量約為3.5kg,體積為180*150*263mm,USB連接方式,自適應90-240V的電壓,攜帶方便,安裝簡單,可任意放置于實驗室、生產線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件,可適用如非平面測量,顯微測量,mapping等特殊要求。 |
易 用: | 軟件界面直觀,操作簡便,用戶體驗出色。無需專業知識以及復雜的技術培訓,預先設置好測試配方后,每次重復調用即可。 |
性價比高: | 相對于傳統膜厚測量設備,NanoCalc擁有非常高的性價比。 |
主要應用
半導體
LCD/TFT/PDP
LED
觸摸屏
汽車
醫學
太陽能
聚合物薄膜
眼鏡
型號及參數:
產品型號 | NanoCalc-VIS | NanoCalc-XR | NanoCalc-DUV |
波長 | 400-850nm | 250-1100nm | 200-1100nm |
厚度范圍 | 50nm-20um | 10nm-100um | 1nm-100um |
產品型號 | NanoCalc-NIR | NanoCalc-VIS-NIR | NanoCalc-XR-NIR |
波長 | 900-1700nm | 350-1700nm | 250-1700nm |
厚度范圍 | 100nm-250um | 50nm-150um | 10nm-250um |
分辨率 | 0.1nm | ||
可重復性 | 0.3nm | ||
準確度 | <1%(50nm-100um) | ||
層數 | 1~10層 | ||
距光纖距離 | 1~5mm | ||
距鏡片距離 | 5-100mm | ||
入射角 | 90°通常 | ||
光斑大小 | 400um | ||
顯微光斑大小 | 1-20um | ||
光纖長度 | 2m(可定制) | ||
通訊接口 | USB/RS232 | ||
功耗 | 12VDC,1.2A | ||
電源 | 90-240VAC 50/60HZ |
關聯產品:
LIBS-激光誘導激光光譜系統(MX2500+)
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