納米模塊 NH
隨著納米科技和薄膜技術(shù)的發(fā)展（太陽能電池，cvd、pvd、dlc、MEMS等），納米尺度的機(jī)械性能測試趨向標(biāo)準(zhǔn)化。納米機(jī)械性能測試在傳統(tǒng)測試基礎(chǔ)上有了很大改進(jìn)，通過設(shè)計(jì)高寬徑比的探針測試更深更窄的溝槽，還實(shí)現(xiàn)低載荷，高空間分辨以及原位載荷-位移數(shù)據(jù)精確測量。
納米壓痕 — 參照ISO14577認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)，選取單點(diǎn)/多點(diǎn)壓痕來測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應(yīng)力（馮米塞斯應(yīng)力，von Mises stresses）和接觸強(qiáng)度/剛度等。
納米劃痕 – 在接觸模式下，可根據(jù)用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。
動(dòng)態(tài)壓痕 - 通過探針動(dòng)態(tài)測量方法，檢測隨深度變化的損失模量以及存儲(chǔ)模量。

NH特性
電磁驅(qū)動(dòng)傳感器
三板電容傳感以超高精確度檢測樣品摩擦學(xué)性質(zhì)變化
針尖幾何形狀為berkovich、球體、或者立方隅角
對多點(diǎn)壓痕進(jìn)行空間映射，壓痕數(shù)目不受限制
在線成像選項(xiàng)（*AFM功能）
檢測效率高，重復(fù)性好
可選擇*的原位傳感器
配備隔熱、隔音罩以及防震臺
符合ASTM, DIN和ISO的所有檢測標(biāo)準(zhǔn)