技術指標：

* 集成控制器、掃描器、樣品臺與防震隔聲裝置與一體的掃描隧道顯微鏡系統；

* 掃描器XY向測量范圍：500nmX500nm

* 掃描器XY分辨率：7.6pm分辨率；

* 掃描器Z向測量范圍：200nm

* 掃描器Z向分辨率：3pm；

* 大電流：100nA；

* 馬達控制自動逼近；

* 樣品臺尺寸: 10mm直徑；

* 大樣品厚度3mm；

* 測量模式：恒電流模式與等高模式；

* 譜線測量模式：電流-電壓曲線， 電流-距離曲線；

* 采樣成像點數大2048X2048；大譜線測量點數32768；

* XY斜率補償功能：硬件補償，保證樣品傾斜的準確測量；

* 軟件測量及分析軟件；

* 自帶防震大理石機構與阻尼防震基座；

* 軟件接口：USB接口，與臺式機或筆記本即可聯用工作，多系統支持；