小流量氣體流量計內部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實現不同工況條件下進行高速的流量控制,此外,流量計內置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式。可通過RS-485總線組網,實現多臺MFC同時控制。
小流量氣體流量計
項目
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參數信息
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大量程
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50sccm-500sccm(可定制)
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精度
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±1%F.S.
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氣體類型
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H2/He/N2/Air/Ar(可定制))
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響應時間
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1s
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壓差范圍
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<1MPa
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工作溫度
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0~50℃
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工作濕度
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0~95%R.H.(非冷凝)
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工作電壓
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24V±10%/12V±10%
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信號接口
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RS-485(Modbus)
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氣路材質
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不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層
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氣路接口
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1/16
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尺寸
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55×46×22mm
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小流量氣體流量計產品優勢:
1、微處理器控制:內部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實現不同工況條件下進行高速的流量控制。
2、標定方法:執行JJG 1132-2017國家標準,所有產品均采用特定高純氣體標定,確保產品的精度。
可通過標定軟件對氣體質量流量控制器進行標定,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。
3、RS-484總線接口:內置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式。可通過RS-485總線組網,實現多臺MFC同時控制。
4、多氣體多量程選擇:內部設置了多種氣體模式(H2、N2、Air、Ar、He等),用戶可根據用戶手冊及使用需求進行操作選擇。
同時,本公司提供擇不同量程MFC產品,用戶可根據需求進行選。
5、緊湊的外形尺寸:尺寸非常小巧緊湊,用戶使用時,不但能夠減小系統體積和重量,同時能夠集成更多的功能模塊。
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