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泰勒白光干涉儀/非接觸式輪廓儀CCI HD

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泰勒白光干涉儀/非接觸式輪廓儀CCI HD
CCI HD 是一種非接觸式光學 3D 輪廓儀,具有測量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型關聯算法,來查找由我們的精密光學掃描裝置產生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界**的非接觸式尺寸測量功能和先進的厚薄膜測量技術。

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泰勒白光干涉儀/非接觸式輪廓儀CCI HD

泰勒霍普森白光干涉儀/非接觸式輪廓儀:

CCI HD 是一種非接觸式光學 3D 輪廓儀,具有測量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型關聯算法,來查找由我們的精密光學掃描裝置產生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界**的非接觸式尺寸測量功能和先進的厚薄膜測量技術。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測量功能,還可以提供兩種類型的膜厚測量。 近年來厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料;測量的厚度限制取決于材料的折射率和標的物的 NA。 測量較薄的涂層被證實為難度更高?,F在通過干涉測量法可以研究厚度至 50 納米(同樣取決于折射率)的薄膜涂層。 采用這種新型方法,可以在單次測量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。

關鍵特性:

     。 2048 x 2048像素陣列,視場廣,高分辨率
     。 全量程0.1埃的分辨率
     。 適用于0.3% - 100%的表面反射率
     。 RMS 重復精度<0.2埃,階躍高度重復精度<0.1%
     。 多語言版本的64位控制和分析軟件

先進的白光干涉儀:

     。 2.2 mm垂直范圍,帶閉環無壓電Z軸掃描儀
     。 AutoStitch作為標準配置,可高分辨率測量大型零件
     。 2048 x 2048像素陣列用于高分辨率的大視野
     。 新型Claritas 20照明系統,角度靈敏度更高,可提高數據質量

提高數據質量:

     。 <0.2Åstrom RMS重復性,<0.1%臺階高度重復性
     。 FEA優化的機械設計,具有出色的R&R功能
     。 在整個測量范圍內的分辨率為0.1埃
     。 內置防振功能,可實現*佳數據質量

無限的應用可能性

表面的三個元素對于組件的功能至關重要。 **的粗糙度能力與大面積測量,先進的數據分析(2D和3D)以及泰勒·霍布森(Taylor Hobson)的專業知識相結合,可提供業界**的計量技術。 許多用戶依靠CCI MP-HS解決其他儀器*無法處理的測量問題。憑借出色的量程、*高的分辨率以及操作簡便的優勢,成為在眾多應用場合中研發和質量保證的理想工具。

篤摯儀器(上海)有限公司

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