作為半導體FAB用，DVID-C光學平臺可在Class 1潔凈的室內環境中使用。所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題，安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內空氣潔凈度的集中排氣回收器具

DVID-C光學平臺特點：

 作為半導體FAB用，可在Class 1潔凈的室內環境中使用。

 所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題

 安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內空氣潔凈度的集中排氣回收器具

 為減少潔凈室內空氣阻力使用打孔結構的上板

 打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能夠積塵的縫隙或彎曲部位

DVID-C光學平臺技術指標：

 固有頻率: 1.2Hz ~ 2.0Hz

 隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98%

 水平復位精度 : ±0.1㎜

 靜負載 : 500Kg

 自重 : 150 ~ 250Kg

 材料 : 支架及頂部：不銹鋼 頂蓋：不銹鋼

 工作氣源 : 3~5Kgf / cm2壓縮空氣或瓶裝液氮

 阻尼形式:孔式空氣阻尼

DVID-C光學平臺用途：

◆探針臺 ◆顯微鏡 ◆Mask ◆aligner ◆A.F.M ◆S.T.M ◆薄膜厚度形狀測定儀

◆其它半導體相關檢驗裝備