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WH-HP-01 WH-HP-01 烘膠臺

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WH-HP-01 烘膠臺是汶顥股份獨立開發,具有自主知識產權的*產品,專門用于光刻工藝中的前烘和堅膜,依據工藝需要設定不同的溫度,依次發生變化。 該設備采用 PID 控溫系統,自動測溫控溫,并具有兩段式自動升溫,烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點,可長時間持續穩定工作。本產品操作方便、穩定性高,具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。

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產品簡介

在微流控芯片領域,PDMS 芯片是其中應用的一類芯片,制備PDMS 芯片的主流工藝為光刻工藝,烘膠是此工藝的其中一步,而溫度控制對于烘膠來說,是zui為關鍵的。

                                 WH-HP-01 烘膠臺

WH-HP-01 烘膠臺是汶顥股份獨立開發,具有自主知識產權的*產品,專門用于光刻工藝中的前烘和堅膜,依據工藝需要設定不同的溫度,依次發生變化。 該設備采用 PID 控溫系統,自動測溫控溫,并具有兩段式自動升溫,烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點,可長時間持續穩定工作。WH-HP-01 烘膠臺操作方便、穩定性高,具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。

與傳統的烘箱,真空干燥箱相比,優勢有以下幾點:烘膠時間短、重復性高、薄膜固化效果好,烘膠速度快,效率高。

 

性能參數

(1)電源輸入:AC220V±10V,50HZ      

(2)功率:650W

(3)參數設定:觸摸屏設置參數

(4)控溫形式:PID控溫系統

(5)烘膠溫度:≤200℃

(6)控溫精度:±1℃

(7)烘膠板規格:φ200

(8)外形尺寸:360*280*170mm

(9)整機重量:15kg

 

操作說明

1)開機:接通電源打開背面電源開關,觸摸屏點亮,進入溫度顯示界面,烘膠臺進入待機狀態。

(2)設定溫度:點擊觸摸屏進入參數設置界面,分別設置一階段溫度、維持時間和二階段溫度、維持時間。

(3)啟動運行:點擊觸摸屏進入溫度顯示界面,點擊啟動,此時烘膠臺開始按設定溫度升溫,并能觀測溫度實時曲線,當前溫度與目標溫度相差1時,烘膠臺開始計算階段溫度剩余時間。

4)停止加熱:點擊停止鍵,風扇開始運作,烘膠臺停止加熱進入降溫狀態。

5)冷卻關機:烘膠結束后,烘膠板還在高溫狀態,此時應繼續保持通電一段時間,以便烘膠臺降溫冷卻,避免因關機時溫度過高造成儀器內部損壞和使用人員燙傷,當溫度降至50以下時關閉電源開關,并拔掉電源插頭。


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