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比表面儀是研究多孔化合物或多孔材料比表面積以及孔徑分布的儀器。比表面儀對真空度的要求很高，因此需要經常查真空系統的運行以及室內溫濕度情況，并針對真空系統進行維護。儀器的真空度與冷阱、油泵有關，維護時需要特別注意這兩個方面。
1.每天補滿冷阱用液氮杜瓦瓶的液氮，確保冷阱系統和樣品分析始終處于液氮溫度下。
2.每周清洗一次杜瓦瓶，以除去瓶內冰塊和灰塵等雜質，并清洗烘干冷肼管和液氮保溫桶。
3.當油泵潤滑油液下降到刻度下*應加油，大約一到兩年加一次。
4.油泵的油氣阱中氧化鋁球定期更換，以氧化鋁球變顏色為準(超過一半以上變色需更換)，新氧化鋁球使用前要烘干(350℃下烘4小時)，不要使用已用過的氧化鋁球。
5.配備抽濕機及空調來保證儀器室溫濕度。
6.儀器如果短時間不用，不用關機，以保持內部管路的真空度。如果長時間不用則需要按照順序關機，以保證儀器正常使用壽命。
7.樣品在進行脫氣前，可以保存在干燥器內或者在烘箱內恒溫保存，減少水汽和低沸點雜質的吸入。
8.儀器還需配置不間斷電源，保證出現緊急斷電時有時間進行正常關機。
9.定期擦拭儀器保持儀器表面潔凈。
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