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作為材料表面分析的重要工具，x射線光電子能譜儀應(yīng)用廣泛，不僅可以分析材料表面的元素化學(xué)信息，還可以進(jìn)行微區(qū)和深度分布等分析。x射線光電子能譜儀的測試量通常較大，因此在使用過程中需要對(duì)儀器進(jìn)行合理維護(hù)，使儀器保持良好的工作狀態(tài)，延長使用壽命。x射線光電子能譜儀的日常維護(hù)可以從真空系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)和氣路系統(tǒng)觸發(fā)。
真空系統(tǒng)的維護(hù)
1.制備樣品時(shí)需要保證樣品在超高真空及X光照射條件下不分解，不釋放氣體。
2.樣品在進(jìn)樣室中應(yīng)充分抽氣。
3.保持進(jìn)樣室門的清潔。
4.定期運(yùn)行鈦升華泵以吸附影響真空的反應(yīng)氣體。
5.在環(huán)境溫濕度高的情況下需要采取降溫和除濕的措施。
循環(huán)水系統(tǒng)的維護(hù)
1.若冷卻水的漏電流高于10 mA需要更換循環(huán)水。
2.經(jīng)常清洗水冷機(jī)的濾網(wǎng)和金屬過濾球，定期清洗儀器機(jī)柜可坼卸前面板的散熱器濾網(wǎng)。
3.建議每半年更換一次去離子水或蒸餾水，可以加入約500 mL乙醇以防止藻類植物和微生物的生長。
氣路系統(tǒng)的維護(hù)
1.壓縮空氣的壓力需維持0.3~0.7 MPa之間。
2.當(dāng)壓縮空氣壓力較低時(shí)需要及時(shí)更換空氣鋼瓶。更換高純氮的氣體鋼瓶時(shí)需要用肥皂水檢查氣路接口的氣密性。
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