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激光共聚焦顯微鏡在材料領(lǐng)域的應(yīng)用

   2019年06月04日 13:56  
  【儀器網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】光學(xué)顯微鏡是大家熟悉的實(shí)驗(yàn)室儀器之一,但事實(shí)上,在實(shí)際使用中光學(xué)顯微鏡存在局限,它是一種二維的形態(tài)學(xué)工具,因此如果要在高倍率下觀察表面的三維形態(tài),特別是縱向方向的形態(tài),通常一定需要使用SEM。但有些樣品使用SEM會(huì)碰到以下困難:
 
  1、樣品本身比較大,且不能做分割的器件組,雖然被觀察的部分是微小的局部,但整個(gè)樣品難以放入SEM中。
 
  2、非金屬樣品,且不適合做導(dǎo)電性處理。特別是一些對(duì)微小處理很敏感的樣品。
 
  3、無法測(cè)量多種尺寸數(shù)據(jù),比如體積,面積,粗糙度等等。
 
  針對(duì)這些問題,SEM廠家在不斷推出更新的技術(shù)。激光掃描共焦顯微鏡(CF-LSM)就是一種能較為有效彌補(bǔ)這些問題的顯微技術(shù)。
 
  激光共聚焦顯微鏡在材料領(lǐng)域應(yīng)用初探
 
  共聚焦激光掃描顯微鏡的發(fā)展在國外,主要為日本。是從80年代末期開始的,目前在日本,共聚焦激光掃描顯微鏡已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù),既用來觀察樣品表面亞微米程度(0.12微米)的三維形態(tài)和形貌,又可以測(cè)量多種微小的尺寸,諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等等。
 
  另外,它還有以下特點(diǎn):
 
  1、使用方便,與一般光學(xué)相似,且全部采用計(jì)算機(jī)直觀控制。
 
  2、基本無須制樣,不損傷樣品。不需要做導(dǎo)電處理,也容許大尺寸樣品直接觀察,*不破壞樣品。
 
  3、幾十秒到一兩分鐘即完成全部的掃描,成像,測(cè)量采樣工作。該設(shè)備目前已經(jīng)為吉林大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué)用于材料和機(jī)械加工方面的研究。

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