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決定掃描電鏡圖像的形成和圖像質(zhì)量有哪些因素

來源:深圳市福田區(qū)西派克光學(xué)儀器行   2014年12月15日 18:59  

         掃描電鏡觀察的放大倍數(shù)在1萬以下,通常比其他類型顯微鏡所觀察到的圖像更富有立體感,清晰度更高,層次細(xì)節(jié)更分明和豐富。掃描電子像具有這樣的有點,與它本身的成像原理有密切的關(guān)系。要成功活的掃描電子圖像,必須了解與圖像形成和質(zhì)量有關(guān)的因素,要獲得一副細(xì)節(jié)清晰的圖像,主要痛像元的數(shù)目,分辨率有關(guān)。要獲得一副富有立體感的圖像,主要同拍攝圖像時的焦深有關(guān),要獲得一副層次豐富和對比鮮明的圖像,主要和拍攝時候的襯度控制,寬容度控制和正確的曝光條件有關(guān)。因此,控制和調(diào)節(jié)影響圖像形成的因素和圖像質(zhì)量的因素是獲得高質(zhì)量掃描電子圖像zui關(guān)鍵的技術(shù)。

       影響圖像形成的因素

       1.傾斜角效影響圖像因素
       由于二次電子的發(fā)射是入射電子碰撞樣品的海外電子,使原子外層受激發(fā)而電離出來的電子, 且電子在逸出樣品表面之前又和樣品進(jìn)行多次散射,所以只要在樣品淺層幾納米到幾十納米組偶偶深度區(qū)域產(chǎn)生的二次電子才能逸出表面,被探測器收集到。因此電子束的入射角將影響二次電子圖像的反差。
       2.邊緣效應(yīng)
在樣品邊緣和較短部位攝入一次電子時。由于和邊緣的二次電子容易脫離樣品,所以產(chǎn)生二次電子數(shù)量多,圖像異常明亮,稱為邊緣效應(yīng)。邊緣效應(yīng)造成反差不自然,降低圖像質(zhì)量。若降低加速電壓,減少二次電子的發(fā)生量,或減少對比度。就可以使邊緣效應(yīng)相對減輕。
       3.原子序數(shù)效應(yīng)
       原子序數(shù)高的元素被激發(fā)的二次電子多,原子敘述地的元素則少。因此,在同等條件下,前者圖像明亮,這種現(xiàn)象成為原子序數(shù)效應(yīng),。原子序數(shù)效應(yīng)與被散射電子在樣品中的激發(fā)作用有關(guān)。在觀察生物樣品時,在樣品表面均勻噴鍍一層原子敘述高的金屬膜,可提高圖像質(zhì)量。
       4.充放電效應(yīng)
生物樣品大多數(shù)是高絕緣性的,入射電子不能在樣品中構(gòu)成回路倒入大地,堆積在樣品上的入射電子形成負(fù)電荷區(qū),產(chǎn)生放電現(xiàn)象或排斥后續(xù)入射電子,使其被檢測器吸收或者轟擊樣品室其他部件,嚴(yán)重應(yīng)先二次電子圖像質(zhì)量,如采用鍍膜,導(dǎo)電膠黏貼樣品等導(dǎo)電處理,可減少充放電效應(yīng)的影響。
       5.焦點深度
       所謂的焦深是指對高低不平試樣各部分聚焦的zui大限度的能力。它是掃描電鏡中一個重要的和可控的性能指標(biāo),是影響整幅圖像各部位清晰度的一個重要因素。隨著圖像的放大倍數(shù)增加,其焦深受束斑尺寸的影響越來越顯著。在高倍放大時,要得到較大的焦深,就要選擇大孔頸的物鏡光闌,或者縮小工作距離進(jìn)行觀察。(顯微鏡 )

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