半導體X-RAY檢測設備 X-7900可以檢測半導體3um的缺陷、一鍵測量汽包大小及空洞率,并可以將缺陷幾何放大400X,檢測圖像系統放大2500X。
Product Introduction
功能 | CNC程序:自動批量檢測樣品不同位置 |
陣列功能:自動批量檢測位置固定、間距相同樣品 | |
氣泡測量:一鍵測量氣泡大小、空洞率 | |
長度、寬度測量:測量部分檢測區域長度、寬度 | |
可視化導航界面:檢測位置精準定位 | |
模擬顏色:更好觀察檢測圖像 | |
優勢 | 在線式自動 ON/OFF X-RAY光管批量檢測樣品 |
搭配130KV濱松X-RAY光管,檢測精度達3um | |
高分辨率數字X-RAY平板,1536*1536px圖像更清晰 | |
幾何放大450x,系統放大2000x | |
540*540mm載物臺可容納大量各種尺寸樣品 | |
半自動的NG/OK產品檢測 | |
允許60°傾斜觀測 |
Product Introduction
Model: | X-7900 |
X-ray 光管類型 | 封閉式 |
空間分辯率 | 3um |
光管電壓 | 130KV(可選90KV) |
光管電流 | 300uA |
放大倍率 | 幾何放大400倍,系統放大2500倍 |
數字平板探測器分辯率 | 1536*1536 像素 |
數字平板探測器密度值 | 14bit (16348) |
圖像速度 | 30(FPS) |
平板旋轉角度 | 60 ° |
載物臺尺寸 | 540*540mm |
載物臺旋轉 | 360°(可選) |
X-Y 行程 | 980*980mm |
檢測范圍 | 510*510mm |
機器尺寸 | 1350*1110*2000mm(L*W*H) |
機器重量 | 1050KG |
操作系統 | WINDOWS 10 |
電源/功率 | AC110-220V 50-60HZ 1200W |
輻射安全測試 | <1 uSV/H |
Product Introduction
手機數據線 | 手機充電頭 |
電腦內存卡 | PCB板 |
電容氣泡測量 | IC芯片金線 |
PCB盲孔 | PCB板 |
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