SAM 302 雙探頭掃描超聲掃描顯微鏡（SAM）

主要技術(shù)參數(shù)：

一　機(jī)械部分：

1. X/Y 兩軸均為超高速、線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng), X / Y 軸內(nèi)置磁力機(jī)構(gòu)；

2. 配有防震系統(tǒng)與慣性平衡機(jī)構(gòu)，隔絕在高速掃描過程中振動(dòng)影響，確保圖像不會(huì)因快速掃描而失真；

3. Z 軸行程大于100mm

4. Z軸自動(dòng)對(duì)焦，不僅可以自動(dòng)對(duì)焦到樣品表面，而且同時(shí)還可對(duì)樣品內(nèi)部任意界面自動(dòng)對(duì)焦; 逐層自動(dòng)對(duì)焦可設(shè)定步距，Z-軸探頭按步距從樣品底部開始向上逐層掃描；

5.雙探頭可同時(shí)掃描，每個(gè)探頭掃描范圍：最小0.20 mm × 0.20 mm；> 320 mm × 320 mm；可自定義掃描區(qū)域，可任意輸入或框選掃描面積（正方形，長(zhǎng)方形，矩形）；同時(shí)還能自定義序列掃描，跳過沒有樣品的空白位置；可自動(dòng)尋找被測(cè)樣品的中心位置和樣品邊緣尺寸，自動(dòng)設(shè)定掃描范圍；

6. 掃描速率：1,500 mm/s

7. 重復(fù)精度：+/- 0.1μm

8. 標(biāo)準(zhǔn)工作水槽尺寸：670 *600 * 70mm 或670 * 600 * 150mm 或定制加長(zhǎng)工作水槽，配置工字形樣品臺(tái)

二　電子部分:

1. DPR 500 超聲波接收和發(fā)射器頻率帶寬：500MHz

2. ADC卡采樣頻率：1.25G/秒 ( 2G，5G 可選配）

3. 前置放大器：L2，H2，H3（選配）

支持換能器（探頭）范圍：5MHz- 400MHz

1.德國(guó) PVA Hibert Filter- 外置濾波器（軟件開關(guān)控制，用于110MHz 以上延遲性探頭使用）

2.各種樣品吸盤、夾具定制、半自動(dòng)化設(shè)備升級(jí)

3. 專業(yè)圖像處理與計(jì)算軟件（空洞率計(jì)算和顆粒度分析，不僅適用于超聲波掃描顯微鏡，同時(shí)可用于電鏡、光學(xué)顯微鏡、共聚焦顯微鏡、X-Ray 等眾多顯微檢測(cè)設(shè)備）

圖為左右排列雙探頭，每個(gè)探頭各掃描1個(gè)6' Wafer
雙探頭掃描系統(tǒng)（雙探頭可左右排列或前后排列），成倍提高檢測(cè)效率

軟件部分:
Winsam 8超聲掃描成像軟件，部分功能介紹：

1. 主要掃描模式包括：A掃描（點(diǎn)掃描）、B掃描、C掃描、多層C掃描、在不同的Z高度進(jìn)行連續(xù)的C掃描、多重門限掃描、透射掃描、托盤掃描、、順序掃描、高清晰掃描、表面跟蹤掃描、實(shí)體掃描、分頻掃描、覆蓋掃描等；透射掃描模式選件：Through Scan 透射掃描固定單元及接收探頭；

2. 表面穩(wěn)定功能：可消除或減弱樣品表面刻字，激光打標(biāo)等對(duì)樣品內(nèi)部超聲波信號(hào)所帶來的影響;

3. 圖像輸出格式：tiff, bmp, jpeg, png 等;
tiff格式能一鍵存儲(chǔ)保存所有的掃描參數(shù)，可在下一次掃描時(shí)調(diào)用；

4．定量測(cè)量功能：X -Y 長(zhǎng)度測(cè)量、厚度與距離測(cè)量、缺陷百分比計(jì)算：可根據(jù)樣品的實(shí)際輪廓（圓形，矩形，不規(guī)則形）進(jìn)行缺陷面積百分比統(tǒng)計(jì)分析，樣品掃描后可提供缺陷尺寸列表并輸出報(bào)告，點(diǎn)擊列表中任一行可顯示該缺陷在掃描圖像上的X/Y 區(qū)域，便于進(jìn)一步分析和定位缺陷等；

5. 圖像著色功能：根據(jù)相位翻轉(zhuǎn)自動(dòng)著色；根據(jù)灰度等級(jí)手動(dòng)著色；根據(jù)渡越時(shí)間手動(dòng)著色，根據(jù)厚度變化手動(dòng)著色（已知材料的阻抗值）

6. 報(bào)告生成：掃描后生成掃描分析報(bào)告，報(bào)告中包含：最終掃描圖片、各種掃描參數(shù)設(shè)置、樣品的A掃描波形圖等；

7．軟件可顯示探頭在水槽中的X/Y/Z三維坐標(biāo)和當(dāng)前所設(shè)定的掃描范圍；

8．用戶可自主選擇XY軸移動(dòng)方向、各種探頭回位方式、以何種方式調(diào)用之前掃描保存的圖片來獲得掃描參數(shù)等；

9. 射頻增益窗口：-22dB -50dB ,高級(jí)菜單設(shè)置

10. 圖像分辨率：可支持32000 * 32000 像素