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HD-2700帶有球差校正的場發射掃描透射電子顯微鏡
電鏡球差校正技術的實用化,使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立*公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
HD-2700通過球差校正,用大會聚角獲得了亞納米級電子束,在分辨率和分析性能獲得重大的進步。
HD-2700共有三種型號,分別是配有球差校正的高分辨型和標準型,以及無球差校正型,可根據應用需求選擇。
特點:
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像(標準型)
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍),可以進行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時間內獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了的GUI自動調節球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案:從制樣到數據獲得和zui終分析
5.多種評價/分析功能可選
*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(DF-STEM像可以同時獲得)
*實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉)
*精確的放大倍率校準功能
技術指標:
項目 描述
分辨率
(晶格分辨率) 1、配有球差校正的標準型 0.144nm,電子槍:冷場或熱場
2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm,電子槍:冷場
3、無球差校正型 0.204nm,電子槍:熱場 加速電壓 200KV 放大倍率 100x -10,000,000 圖像模式 圖像模式 相襯度像(TE像)
原子序數襯度像(ZC像)
電子衍射花樣(可選)
特征X射線像(可選 :EDX)
EELS像(可選 :ELV-2000) 電子光學 電子槍 場發射電子源,內置陽極加熱器
透鏡系統 兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡
球差校正器 六極/傳輸 雙重(標準型和高分辨型)
掃描線圈 兩級電磁線圈
電位移 0.5μm 樣品桿 類型 側插式
移動范圍 X,Y=±1mm,T=±30°(單傾樣品桿) 操作系統 Windows XP
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