針對300mm尺寸樣品進行優化，用于質量保證/質量分析的探針式輪廓儀

布魯克公司的新型Dektak XTL探針式輪廓儀系統可容納多大350mm*350mm的樣品，將Dektak有意的可重復性和再現性應用于大尺寸晶片及面板制造業。Dektak XTL集成氣體隔振裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環境下運行，是當今要求苛刻的生產環境的理想之選。它的雙攝像頭設置使空間感增強，其高水平自動化可生產量。

探針式輪廓儀系統Dektak XTL產品特性

一、Bruker公司的雙攝像頭控制系統

1.通過點擊實時視頻更快鎖定到關注點

2.通過選擇實時視頻中的兩個點快速定位樣品（自動旋轉使連線水平）

3.通過在實時視頻中點擊掃描起始和結束位置簡化測量設置（教學）

二、自動化設置和操作

1.借助300毫米的自動化編碼XY工作臺以及360度旋轉能力，編程控制無限制測量位置。

2.利用帶圖形識別功能的Vision64位產品軟件減少使用中的定位偏差

3.將自定義用戶提示以及其它元數據編入您的方案中，并存儲到數據庫內

三、方便的分析和數據采集

1.快速分析儀支持大部分常用分析方法，可輕松實現分析程序自動化

2.通過臺階檢測功能將分析集中于復雜樣品上感興趣的特征

3.通過賦予每個測量點名稱并自動記錄到數據庫來簡化數據分析

4.Dektak在大樣品制造業中的傳奇性能

四、業界自動分析軟件

新增軟件功能使Dektak XTL成為市面上易使用的探針式輪廓儀。系統使用的Vision64軟件,與Bruker公司的光學輪廓儀兼容。Vision64軟件可以進行樣品任何位置測量、3D繪圖以及借助數百個內置分析工具實現的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform軟件來測量曲率半徑等形狀。

五、探針式檢測技術

圖形識別功能可以盡量減少操作員誤差并測量位置精度。在同一軟件包內，以直觀流程進行數據采集和2D、3D分析。每個系統都帶有Vision軟件許可證，可在裝有Windows7操作系統的個人電腦上安裝，用戶可在電腦桌面上創建數據分析和報告。

Dektak XTL擁有超過40年的探針經驗和軟件定制生產經驗，符合現在和未來的嚴格的行業發展藍圖。

相關圖片

1）Vision64 生產界面

2）操作員將 300mm 晶圓裝載到 Dektak XTL 上