好處

· 降低成本

· 制程氣體分配系統快速達標

· 監測氣體中的粒子變化，以防影響產量

· 系統配置兩套設備：采樣傳感器和數據系統

· 改善制程控制

· 規格驗證

· 檢測制程干擾

· 量化系統變化造成的影響

· 精確測量粒徑

· Facility Net軟件的數據管理系統具有全面的數據儲存、管理、報告、報警等功能

· 可靠性高

· 無源腔設計，無需頻繁維修保養

· 無需流體即可完成監測，這是其它系統所不具備的優點

· 以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本

應用

· 氣體分配系統規則達標

· 監測制程氣體