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一、用途：ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗用光學儀器，配置明/暗場物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，景深大，視場清晰
一、用途：
ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗用光學儀器，配置明/暗場物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，景深大，視場清晰。可用于半導體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣檢驗，是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子工程學研究的理想儀器。
二、系統(tǒng)簡介
本系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學顯微鏡與計算機(數(shù)碼相機)通過光電轉(zhuǎn)換有機的結(jié)合在一起，不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計算機(數(shù)碼相機)顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
ZYG-1000 系列硅片顯微鏡，采用無限遠聚光系統(tǒng)。
三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) | 備 注 |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
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20X | Φ18（選配） |
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平場分劃目鏡 | 10X | Φ22（選配） | 格值：0.1mm |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離 |
無限遠平場 消色差（明/暗 場）物鏡 | 5X | 0.12 | 8.05 |
10X | 0.25 | 7.86 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
40X（選配） | 0.60 | 3.0 | |
50X | 0.70 | 1.75 | |
80X | 0.80 | 0.80 | |
100X（干）（選配） | 0.85 | 0.40 |
3.光學放大倍數(shù)：50X—1600X
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色；
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片；
6.載物臺：外形尺寸：280×270mm，移動范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm；
7.粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)，微動手輪格值：0.007mm；
8.反射照明器：12V/50W鹵素燈，亮度可調(diào)。內(nèi)置視場光闌、孔徑光闌、濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器；
四、系統(tǒng)組成
電腦型(ZYG-1000E): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數(shù)字彩色攝像機 4.數(shù)據(jù)線 5.計算機（選購）
數(shù)碼相機型(ZYG-1000D): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數(shù)碼相機（選配）
五、選購件： 1.高像素成像系統(tǒng) 2.金相顯微鏡分析軟件
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