DVIA-MB基本主動隔振平臺

DVIA-MB基本主動隔振平臺

DVIA-MB SEM＆TEM的最終活性基礎

專為電子顯微鏡而設計

我們專門為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡設計了DVIA-MB; DVIA-MB是最終的主動振動隔離基礎平臺，通過主動降低低頻范圍內的振動，協助電子顯微鏡獲得生物和非生物樣品的高分辨率圖像。 此外，DVIA-MB適合所有市場上的商業電子顯微鏡。

的主動隔振器

DVIA-MB由四個主動隔振器組成，DVIA-M隔離器內置空氣彈簧元件和主動隔離系統。 慣性傳感器和電磁執行器安裝在這些主動隔振器中，有效地降低了低頻振動，同時被動隔離（空氣彈簧）支持大量有效負載，并為高頻振動提供隔振。

具有高分辨率的納米成像

如上圖所示，當低頻振動干擾電子顯微鏡時，使用DVIA-MB降低這些振動至關重要，以便獲得納米級分辨率圖像。

的隔振性能

主動隔離系統的諧振頻率比無源隔離系統低得多。 如上圖所示，主動系統在1-10Hz范圍內的振動控制非常出色，被動系統放大低頻振動而不是過濾振動。 DVIA-MB在精密儀器趨于不穩定和破壞性的低頻振動中隔離超精密儀器非常有效。 主動振動隔離開始于0.5 Hz，DVIA-MB在2 Hz時達到90％，在10 Hz時達到99％。

反饋和前饋算法

DVIA-MB使用反饋控制系統連續檢測干擾隔離有效負載基座的振動，并即時作出反應，以實時最小化振動。 DVIA-MB采用前饋系統，以預定義的方式濾除地面振動。

控制所有六個自由度的振動

安裝在主動隔振系統中的慣性傳感器和VCM執行器通過三個平移運動（X，Y和Z）以及三個旋轉運動（俯仰，滾轉和偏航）來檢測和控制振動。

每個安裝地點都有不同的振動級別，表明每個安裝地點都需要調整。 因此，我們提供現場調試，以有效地利用反饋和前饋控制系統，這是控制1-10 Hz范圍振動的關鍵因素。 沒有調整，主動隔離系統不能提供的主動隔離性能。

應用：掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡

產品規格