離子分析質譜儀/飛行時間二次離子質譜儀可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用技術的SIMS 探針，便于連結到現有的UHV表面科學研究反應室。

飛行時間二次離子質譜儀特點： 
1、高靈敏度脈沖離子計數檢測器，7個數量級的動態范圍
2、SIMS 成像，分辨率在微米以下 
3、光柵控制，增強深度分析能力
4、45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
5、所有能量范圍內，離子行程的zui小擾動，及恒定離子傳輸
6、差式泵3級過濾四極桿，質量數范圍至2500amu
7、靈敏度高 / 穩定的脈沖離子計數檢測器
8、Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
9、通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制


應用：
1、靜態 /動態SIMS
2、一般目的的表面分析
3、整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS
4、兼容的離子槍/ FAB 槍
5、成分/污染物分析
6、深度分析
7、泄漏檢測
8、與Hiden SIMS 工作站兼容