美國 SONIX

超聲波掃描顯微鏡

SONIX™公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司，是超聲波掃描檢測儀和無損檢測設備的*製造商。 自1986年成立以來，SONIX™在無損檢測領域中不斷改革創新，是家基於微機平臺，提供全數位化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力於技術革新，提供給客戶*的聲學檢測技術。

SONIX™ 設備被廣泛應用於各種材料的無損檢測，包括半導體，汽車零件和其他先進元件。 擁有獨立開發的軟體，硬體和專利技術，這麼多年來通過和客戶的不斷合作，實現了SAM技術的持續改進。 SONIX™ 努力提供準確的資料，完美的圖像品質，非凡的操作性和設備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節約成本。

SONIX 軟體優勢

● 可編程掃描，自動分析
    定制掃描程式，一鍵開始掃描，自動完成分析，生成資料

SONIX 硬體優勢

● 緊湊、穩定的結構設計
    模組化設計使得結構簡單、穩定，易於維護

● 高速、穩定的馬達設計
    掃描軸採用進的線性伺服馬達，提供高速、穩定、無磨損的掃描

● 專利的超聲波探頭/透鏡
    提供精確的缺陷檢驗，小能探測到僅0.1微米厚度的分層。

● PETT技術
    反射及透射同時掃描，有效提高元器件分析效率

封裝檢測設備

ECHO-LS™

晶圓檢測設備

AutoWafer Pro™

SONIX AutoWafer ProTM是專為全自動晶圓檢測設計的機型，主要應用在Bond wafer，MEMS 內部空洞、離層檢測，TSV量測方面。

● 使用於200和300mm晶圓
● 符合一級淨化間標準
● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協議
● KLARF輸出檔

Pulse 2TM 信號發生器/接收器 - 適合所有 ECHO & AutoWafer 設備

● 相對標準的信號發生器/接收器可獲得 +12dB
● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具備4x 倍進展
● 從低層次的背景雜訊中分隔信號
● 產生乾淨，清晰的圖像，即使在超高頻的信號轉換器

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列

Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導體製造商的高要求而設計的:-

● 自家研發
● 頻率範圍寬闊
● 結構堅固